Nanosys-600
技術(shù)參數(shù):基于直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的液體靜壓導(dǎo)軌
位置伺服控制空氣靜壓主軸
最大加工口徑:Φ600mm
表面粗糙度:Ra<10nm
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