Nanosys-300
技術(shù)參數(shù) 基于滾珠絲杠驅(qū)動的液體靜壓導(dǎo)軌
最大加工口徑:Φ300mm
非球面加工精度:0.3-0.5μm/Φ70mm
表面粗糙度:Ra<10nm
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